클린룸이란?
반도체 클린룸과 배관

클린룸이란?

클린룸(Clean Room)은 공기 중 입자 수를 정해진 기준 이하로 유지하고, 온도·습도·압력도 함께 관리하는 공간입니다. 반도체는 머리카락보다 훨씬 가는 회로를 만드는 공정이어서 미세한 입자 하나도 불량의 원인이 될 수 있습니다. 그래서 반도체 공장(FAB)의 공정 구역은 클린룸으로 만듭니다.

청정도 등급

청정도는 단위 부피의 공기에 포함된 입자 수로 나눕니다. 국제 표준(ISO 14644-1)은 ISO Class 1~9로 등급을 나누며, 숫자가 작을수록 더 깨끗합니다. 등급과 관리 기준은 공정과 고객사 요구에 따라 다릅니다.

클린룸에서 배관이 중요한 이유

• 배관은 가스·초순수·케미컬을 클린룸 안의 장비까지 운반하는 통로여서, 배관 내부 오염이 곧 공정 오염이 됩니다.
• 시공 중 발생하는 용접 흄, 절단 가루, 산화 스케일이 클린룸 환경을 해칠 수 있어 작업 절차 관리가 필요합니다.
• 가동 중인 라인 옆에서 공사하는 경우가 많아 일정과 안전 관리가 함께 요구됩니다.

자세한 시공 내용은 반도체 클린룸 배관공사, 전체 개념은 반도체 배관이란?을 참고하세요.

자주 묻는 질문

단위 부피 공기 중 입자 수로 정하며 ISO 14644-1 기준 ISO Class 1~9로 나눕니다. 숫자가 작을수록 청정도가 높습니다.

자재 청정도, 정밀 용접, 시공 중 오염 관리, 누설 검사 기준이 훨씬 엄격하고 가동 라인 인근에서 작업한다는 점이 다릅니다.