특수가스 배관은 반도체 공정에 쓰이는 가스를 장비까지 안전하고 깨끗하게 공급하는 배관입니다.
반도체 공정에는 식각, 증착, 세정 등에 여러 종류의 가스가 쓰입니다. 이 가스를 가스 공급 설비에서 클린룸 안의 장비까지 보내는 배관이 특수가스 배관입니다. 가스에는 독성, 가연성, 부식성이 있는 종류가 있어 일반 배관보다 안전 관리가 중요하고, 순도를 지키기 위해 배관 내부 청정도도 엄격하게 관리합니다.
온텍은 가스시공업 제2종 등록업체입니다. 자세한 내용은 가스배관공사 페이지를 참고하세요.
가스 시설 시공은 관련 법령에 따라 가스시공업 등록 업체가 해야 합니다. 등록 종류와 범위는 공사 내용에 따라 확인해야 합니다.
일반적으로 누설 시험, 퍼지 후 상태 확인 등을 하며, 구체적인 기준은 고객사와 가스 종류에 따른 사양을 따릅니다.